低成本、易操作的UV-LED显微投影光刻方法
低成本、易操作的UV-LED显微投影光刻方法
时间: 2024-02-25 09:26:09 | 作者: 军警系列
制造技术对于生产光学和光子器件必不可少。过去几十年，随着光学器件小型化和集成化需求的一直增长，用以加工微纳光学光子器件的光学制造技术也得到了广泛的发展。 在计算机们能随意组合微观结构，观察某些材料如何转变，比如看看某些材料怎么样转化为声聚焦声学透镜或轻质防弹膜等。
在实验室规模上，目前可通过比如双光子光刻、电子束光刻或离子束光刻等技术来制备高精度微纳米元件，但相应的加工系统通常非常昂贵且加工效率不够高。 纳米压印技术能够以高产量实现高分辨率的结构。然而，这项技术需要高精度的母版，这导致额外的成本和时间投入。
光学接触光刻和投影光刻技术也被开发用于微纳米光学结构的制备，但这一些方法目前只能实现微米级的分辨率，更高精度的光学加工依然面临挑战。
为光源，通过标准光学元件和显微物镜将图案转移到基板上的投影光刻方法——UV-LED显微镜投影光刻（MPP），并基于此开发了一套简单、低成本、易操作的 MPP装置（如图1a所示），实现快速且高分辨率的2D微纳光学器件加工。
为了能够更方便地制备加工所需的模板，研究人员也开发了一套涵盖了从结构设计及打印，铬掩模版制备到MPP加工光学器件的完整工序（示意图如图1b所示）。
第三步是将制备好的铬掩模版放入到MPP装置中进行微纳加工，通过投影光刻将掩模版上的图案缩小一定倍数（由显微物镜倍数决定）转移到旋涂了光敏聚合物的基底上。
本文对比了喷墨打印机和光绘图仪在第一步中将图案打印至透明薄片上的性能表现，依此对打印工序进行了优化。在制备铬掩模版时，研究人员对比了分别用普通非球面透镜和Tessar镜头将透明薄片上结构图案转移至空白铬掩模版后的精度和质量，并对这个工序的光学系统来进行优化。利用制备好的掩模版，研究人员可利用MPP 加工最终的光学结构。 为了探索该方法的高精度加工性能，研究人员加工了不同特征尺寸的单线纳米的特征尺寸。
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。举报投诉
技术市场将从2015年的3433万美元增长到2020年的1.7906亿美元。由于市场迅速增加，北美洲的平面艺术行业正慢慢的变多地使用紫外固化设备和技术。其他
的新蓝海，日益引起投资者的兴趣，慢慢的变多的中国企业也进入该领域，但目前中国的
（LightEmittingDiode）又称为发光二极管，这种技术很早以前就开始应用在显示和照明领域。
发光原理不同于传统UHE、UHP灯泡，它在发光过程中不会产生大量热量，因此寿命都可以达到。
在许多应用中，在小封装中需要由AC电源供电的离线切换器，或者必须占用系统主板上的小空间。这些可以从家用智能电表、家用电器能耗监视器、高功率因数照明应用中的
机成功，从零开始！媲美千元机！效果： 配置：镜头：三片镜F210mm屏幕：杂牌TFT5寸通用40P接口800*480屏幕屏幕驱动：4.3-14寸通用驱动，支持VGA和AV
：顾名思义，mask和wafer是相互接触的，这种方式能保证较高的resolution（接近波长），但是缺点很明显，mask容易
，将抗蚀剂薄层未掩蔽的晶片表面或介质层除去，从而在晶片表面或介质层上获得与抗蚀剂薄层图形完全一致的图形。集成电路各功能层是立体重叠的，因而
讯：光互连技术从100G正在走向200G/400G，数据中心的演进有着多种不同的路径。
的原边反馈LEO恒流驱动芯片，应用于反激隔离LEO照明。芯片工作在电感电流断续模式
照明电源，在90Vac～264Vac的宽范围市电输入电压下，兼容多种规格的宽范围输出。SM7523电源芯片基于高压单
日前，Altera发布新系列Cyclone IV FPGA ，延续其收发器技术的一马当先的优势。当前移动视频、语音和数据访问以及高质量3D图像对
控制、低压直流驱动、组合后色彩表现丰富、常规使用的寿命长等优点，以往被大范围的应用于城市工程、大屏幕
，并给出了其C语言实现函数的源程序，以及汉字字符串提取程序和点阵字模提取程序的源程序。显示函数的实现中还重点设计了灵活的putchar函数，以便在程序中使用printf函数作为显示输出函数。
高集成度的电源芯片ADP1051来控制输入到输出的能量转换。此电源设计综合考虑效率与
的农业解决方案。是通过什么软件的学习，我们也可以一步步实现初级的农业自动化
光油作为的攻克项目，经过半年的攻克，在营业部人员多次为客户试用样板，研发部门研究员跟进改善，终于在2009年初完善了免打底光油
主要采用单片式白光光源通过三采空间合成的成像机制，光机系统也相对简单
芯片采用半导体芯片形式，既无外壳，也不用连接，只需直接安装到 PCB 上或者更通俗地讲，安装到基材上。 而且，这种封装形式还带来了许多相关优势，如设计更灵活、配光更好、制造工艺更简单等。
，且可以一次性干燥完成品，其效果优于手工喷涂，在国内尚属较先进的技术。楼梯
本帖最后由 aalele 于 2016-2-20 14:49 编辑 矽力杰SY5830、SY5800隔离
如上图，输入电压与输出电压不是线性关系，看别人机器上的板是能轻松实现的，请问用哪种算法？或有更简单更
驱动器该电路具有精确的初级侧恒V恒流控制器（CV／CC），省去了光耦器和所有次级侧CV／CC控制电路，不需要电流检测电阻即可达到最高
对准系统设计研究王鲁宾，周金运，宋超（广东工业大学物理与光电工程学院，广东 广州 510006）摘要：针对目前研究的激光
驱动器系列，进一步壮大其高能效照明IC产品的阵容。全新推出的BCR320和BCR420产品
封装技术可提高10倍寿命 律美公司发布了新上市的QuasarBrite
照射单元LIGHTNINGCURE® LC-L5G的新成员，该产品具备可连接、薄型、低功耗的特点，适用于国内外生产电视机、平板电脑终端、智能手机等厂家工序中的
紫外固化光源崭露头角。本文介绍UVLED线光源的原理、结构、特点以及应用情况。
高，程序稍显繁琐，不易实现大众化。因此，研制一种便携仪器对水资源的水质进行定性观测是非常必要的。 本文研制了一种便携式激光
固化技术持续不断的发展，随之而来的是应用领域的持续不断的增加。作为节能、减排、降耗的新能源，
扩张的速度令人咂舌。在线路板曝光领域传统汞灯一直都是牢牢地占据着统治地位，但
先驱Nitride Semiconductors成立了一家名为Micro Nitride的全资子公司。新公司将基于一项正在申请专利的新技术，开发和销售用于Micro
镜。这些系统通常花费数千美元，但最近有一些努力使它们更容易获得。我在这里介绍的设计采用
本次募集资金将大多数都用在新建年产12,000吨环保型光引发剂、年产50,000吨
高性能树脂等相关原材料以及中试车间项目及补充流动资金。 强力新材是国内少数从事
凭借消毒、杀菌、净化、固化等功能狠狠火了一把。 即使是*ST雪莱这样上半年亏损1837.65万元的照明企业，其紫外杀菌灯业务营收也实现了同比66.01%的高增长
2020年11月11日，南极熊获悉，宽幅喷墨打印机和切割机制造商Mimaki Europe推出了最新的全彩
3D打印机3DUJ－2207，这款产品将以入门级的价格颠覆全彩3D打印市场
灯珠焊接在铝基板或PCB板上，然后将PC或PMMA透镜罩在灯珠上，让发光
类型、波长、发光效率、照射距离、照射时间、辐射强度、穿透性率、应用领域等是
失效分析检测” 服务，找出的原因有哪些： 1. 发热量大 目前
发光。是一种可替代传统汞灯的新型光源，应用广泛：汽车、电子、光电、医疗、固化、印刷、空气净化等领域，具有
以其节能、环保、高效、经济实等自身优势一速占领了市场获得了众多客户的认可，
固化机的市场占有率就是其地位的佐证。今天柯依努光电的小编就为大家来介绍一下这方面的知识。
方案介绍我知道这里有很多对生物感兴趣的 Maker 朋友们，本期要向大家推荐一个实用的装备类项目，由树莓派、摄像头、CCTV 镜头和一组 3D 打印支架装配成的交互式
光源需求，虹科提供高功率的紫外光源解决方案，可适配步进器和掩膜版设备，更换传统工具中的传统灯箱，实现高质量的半导体质量控制。
点击上方蓝字关注我们ClickthebluewordabovetofollowUS虹科定制的高稳定
采用了超高稳定度光源驱动技术具有≥99.92%的稳定性与96%的光均匀
点光源光波导传输，光固化等应用昊量光电新推出用于紫外光固化工艺的模块化光谱组合的高功率多波段
设备的紫外光源。这种光源虽然输出功率高，但输出光谱范围宽，制造和生产的全部过程中会产生对环境有害的物质，并且工作寿命短，更换周期频繁。 UVLED 具有独特的技术优势和
灯，可实现高强度的快速固化。它们很适合对热敏感的基材或用于窄光谱范围的粘合剂和涂层。 Skybeam 高强度、冷
